Shiva Purana
ईशो विश्वेश्वरः पश्चात्परमेशस्ततः परम् ॥ सर्वेश्वर इतीदन्तु तिरोधाचक्रमुत्तमम् ॥ ५ ॥
This set of four comprising Īśvara, Viśveśvara, Parameśvara and Sarveśvara is the excellent Tirobhāvacakra.
english translation
Izo vizvezvaraH pazcAtparamezastataH param ॥ sarvezvara itIdantu tirodhAcakramuttamam ॥ 5 ॥
hk transliteration by Sanscript